一．詳細(xì)介紹      ZKGSL—150—1 真空管式高溫爐以進(jìn)口硅碳棒為發(fā)熱元件，額定溫度1400℃，采用S型單鉑銠熱電偶測(cè)溫和日本“島電”溫控儀自動(dòng)控溫，具有較高的控溫精度（±1℃）。此外該爐具有真空裝置，可在多種氣氛下工作，大大提高了其使用范圍。該爐具有使用溫度高、高精度控溫、等優(yōu)點(diǎn)。爐管材質(zhì)采用優(yōu)質(zhì)耐高溫的剛玉管，專門設(shè)計(jì)用于精密機(jī)械零件熱處理、納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、氮化硅渡膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、化工材料、陶瓷電容器氣氛燒結(jié)、真空燒結(jié)等。管式爐采用高鋁纖維制品隔熱、保溫，優(yōu)質(zhì)剛玉管爐膛,日本進(jìn)口單回路智能32段（40段）程序溫度控制儀控制，PID參數(shù)自整定，精確實(shí)現(xiàn)溫度的控制。設(shè)備具有溫度均勻、控制穩(wěn)定、升溫速度快、節(jié)能環(huán)保、使用溫度高、壽命長(zhǎng)、發(fā)熱件更換方便、操作簡(jiǎn)單、維修方便等特點(diǎn)，是理想的科研設(shè)備，其性能達(dá)到國(guó)外同類產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)。  二．技術(shù)指標(biāo)：設(shè)備型號(hào)：GSL—150—1最高溫度： 1400℃     工作溫度： 1350℃加熱區(qū)長(zhǎng)度：300mm恒溫區(qū): 150 mm溫度均勻性： ±1℃爐管實(shí)際尺寸：  Φ50（外徑）×1000mm  （剛玉管）爐膛材料：  莫來(lái)石纖維制品控制溫區(qū)個(gè)數(shù)：  1個(gè)，S分度熱偶控溫精度： ≦±1℃，單回路智能32段（40段）程序儀表控制，PID參數(shù)自整定加熱元件：  優(yōu)質(zhì)硅碳棒加熱最大加熱功率：  4Kw        空爐保溫功率：約2Kw建議升溫速率：   3℃～10℃/min輸入動(dòng)力電源：  三相電源，50HZ ，380V±10%；6KW爐體表面溫升：  ≤60℃。尺寸: 550 x 380 x 520 mm凈重: 50 Kg保修期: 整機(jī)保修一年，相關(guān)耗材除外  三．標(biāo)準(zhǔn)配件： 

 四．密封結(jié)構(gòu) （見氣氛管式爐進(jìn)出氣管口結(jié)構(gòu)圖） 五．可選配件 （一）．真空泵1.產(chǎn)品型號(hào)：GZK-103D       該系統(tǒng)由前級(jí)無(wú)油泵，后級(jí)分子泵，真空傳感器和電子控制系統(tǒng)和LED液晶顯示組成，此系統(tǒng)是用來(lái)抽吸或壓縮空氣和其它無(wú)腐蝕性、不溶于水、不含有固體顆粒的氣體，以便在封閉容器中形成真空和壓力，吸入氣體中允許混有少量液體。它被廣泛用于機(jī)械、無(wú)油化工、制藥、食品、制糖工業(yè)及電子領(lǐng)域。由于在工作過(guò)程中，氣體的壓縮是等溫的，所以在壓縮和抽吸易燃、易爆氣體時(shí)，不易發(fā)生危險(xiǎn)，所以其應(yīng)用更加廣泛。        另外該系統(tǒng)采用德國(guó)產(chǎn)分子泵作為主工作泵，采用德國(guó)的機(jī)械泵作為分子泵前級(jí)泵，機(jī)械泵內(nèi)部已有有隔斷放氣裝置為非標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)，它主要由連接管道，110分子泵，機(jī)械泵構(gòu)成，通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)配件連接，全部采用不銹鋼材料，全部電拋光處理。系統(tǒng)設(shè)計(jì)有預(yù)抽功能。2. 技術(shù)參數(shù)：   泵體積流量N₂:331/S                                                                           壓縮比：10:11                                                                                     最終壓力：≤4.5×10^-5mbar                                                                       功率消耗：140W                                                                                  啟動(dòng)時(shí)間：2min                                                                                         電源要求：90-132/185-265VAC                                                                  環(huán)境溫度：5-32℃                                                                              空氣相對(duì)濕度：≤85℃                                                                          工作電壓：220V±10%                                                                         功率：1KW                                                                                     系統(tǒng)極限真空度：1.0×10^-3Pa3.                                                                  外型尺寸：800×600×600mm4.                                                           主要配置：機(jī)械泵（德國(guó)產(chǎn)）                                                                      抽氣速率：4L/S                                                                     電極功率：400W                                                                           極限壓強(qiáng)：6×10^-2Pa分子泵（德國(guó)產(chǎn)）                                                                                   抽氣速率：100L/S                                                                     極限壓強(qiáng)：6×10^-6Pa                                                               啟動(dòng)時(shí)間：＜2min                                                                 額定轉(zhuǎn)速：4300轉(zhuǎn)/分鐘                                                              冷卻方式：風(fēng)冷/水冷分子泵控制電源（德國(guó)產(chǎn)）                                                                     工作電壓：110-240V                                                                    輸出功率：250W                                                                   加速時(shí)間：1min                                                                   輸出頻率：高速740HZ±10%  低速430HZ±10%真空傳感器（德國(guó)產(chǎn)）                                                            工作電壓：220V 50-60HZ                                                        電阻規(guī)阻值：約85Ω                                                            自動(dòng)保護(hù)（電離）：＞10PaKF40高真空手動(dòng)隔斷閥                                                                    采用氟膠圈密封，快卸法蘭接口漏率達(dá)5×10^-9Pa.m³/s                                            連接管路:采用全不銹鋼，電拋光制作，零件焊接漏率優(yōu)于1×10^-9Pa.m3/s(二)．產(chǎn)品名稱：多路浮子控制供氣系統(tǒng)1.主要特點(diǎn)：本配比器適用于低壓小流量,多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其是方便三種氣體切換使用，而不會(huì)造 成大氣進(jìn)入加熱爐管。 氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀，外形美觀、實(shí)用，操作簡(jiǎn)便。每一條氣體管路均有一個(gè)高壓截止閥，安全有保證2.工作原理：    由氣體鋼瓶輸入兩種氣體，形成A，B兩種組份，經(jīng)過(guò)減壓閥減壓，輸出所需流量的氣體，再通過(guò)調(diào)節(jié)每一組分的體積流量，輸出預(yù)定比例關(guān)系的混合氣體，達(dá)到加熱爐所需求得氣氛。三個(gè)連接頭可連接二或三只氣體鋼瓶（只能同時(shí)啟用二個(gè)鋼瓶），如：H₂/A_R，H₂/N₂，O₂/N₂等。嚴(yán)禁氫氣和氧氣同時(shí)供氣，保證安全!     將配比器進(jìn)口的三個(gè)連接頭直接連接到15MPa的供氣鋼瓶上，其中之一是氫氣專用連接頭，選擇連接好兩種氣體，按順序開啟供氣鋼瓶上閥門、配比器上對(duì)應(yīng)高壓截止閥及三只流量計(jì)旋鈕，再旋轉(zhuǎn)減壓閥旋鈕增大氣體壓力，調(diào)節(jié)兩種氣體流量，輸出所需要的壓力和流量。     本供氣（混氣）系統(tǒng)可用于多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)，尤其方便多種氣體的切換混合使用；氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀，操作方便；每一條氣體管路均有一個(gè)高壓截止閥，安全可靠！本系統(tǒng)廣泛用于CVD供氣系統(tǒng)，氣體保護(hù)燒結(jié)，氣體保護(hù)退火等。3.技術(shù)參數(shù)：   氣路通道：多通道（可根據(jù)客戶需求設(shè)計(jì)通道）   氣路流量控制器： 采用浮子流量計(jì)控制   標(biāo)準(zhǔn)量程：10-100ml/min 、16-160ml/min、 25-250ml/min   接口：Φ6.35,1/4''    工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體                不銹鋼管：Φ6_（外）X Φ4_內(nèi)   壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格    截止閥：Φ6.35   混氣罐：Φ80×140mm (三)．高純氧化鋁坩堝                                                                             提供高純氧化鋁坩堝,分舟型和桶型.                                                          純度: Al₂O₃ > 99.5%;  Fe₂O₃ < 0.01%                                                密度: > 3.8 g/cm³                                                                             最高工作溫度: 1750 ^oC or 3180 F